Kuvaus
Yksikristallinen piiharkkois yleensä kasvatettu suurena lieriömäisenä harkona tarkalla doping- ja vetotekniikoilla Czochralski CZ, magneettikentän aiheuttama Czochralski MCZ ja Floating Zone FZ menetelmillä.CZ-menetelmä on laajimmin käytetty suurten, jopa 300 mm:n halkaisijaltaan olevien sylinterimäisten harkkojen piikiteiden kasvattamiseen, jota käytetään elektroniikkateollisuudessa puolijohdelaitteiden valmistukseen.MCZ-menetelmä on muunnelma CZ-menetelmästä, jossa sähkömagneetin luoma magneettikenttä, jolla voidaan saavuttaa verrattain alhainen happipitoisuus, pienempi epäpuhtauspitoisuus, pienempi dislokaatio ja tasainen ominaisvastusvaihtelu.FZ-menetelmä mahdollistaa korkean resistiivisyyden saavuttamisen yli 1000 Ω-cm ja erittäin puhtaan kiteen, jolla on alhainen happipitoisuus.
Toimitus
Single Crystal Silicon Gott CZ, MCZ, FZ tai FZ NTD n-tyypin tai p-tyypin johtavuudella Western Minmetals (SC) Corporationilta voidaan toimittaa halkaisijaltaan 50 mm, 75 mm, 100 mm, 125 mm, 150 mm ja 200 mm (2, 3). , 4, 6 ja 8 tuumaa), suunta <100>, <110>, <111> pinta maadoitettu muovipussipakkauksen sisällä ja pahvilaatikon ulkopuolella, tai räätälöityjen tietojen mukaan täydellisen ratkaisun saavuttamiseksi.
.
Tekniset ominaisuudet
Yksikiteinen piiharkko CZ, MCZ, FZ tai FZ NTDn-tyypin tai p-tyypin johtavuudella Western Minmetals (SC) Corporationilta voidaan toimittaa halkaisijaltaan 50 mm, 75 mm, 100 mm, 125 mm, 150 mm ja 200 mm (2, 3, 4, 6 ja 8 tuumaa), suunta <100 >, <110>, <111> pinta maadoitettu muovipussin sisällä ja pahvilaatikon ulkopuolella, tai räätälöitynä eritelmänä täydellisen ratkaisun saavuttamiseksi.
Ei. | Tuotteet | Vakiomääritys | |
1 | Koko | 2", 3", 4", 5", 6", 8", 9,5", 10", 12" | |
2 | Halkaisija mm | 50.8-241.3 tai tarpeen mukaan | |
3 | Kasvumenetelmä | CZ, MCZ, FZ, FZ-NTD | |
4 | Johtavuuden tyyppi | P-tyyppi / booriseostettu, N-tyyppi / fosfidiseostettu tai seostamaton | |
5 | Pituus mm | ≥180 tai tarpeen mukaan | |
6 | Suuntautuminen | <100>, <110>, <111> | |
7 | Resistanssi Ω-cm | Tarvittaessa | |
8 | Hiilipitoisuus a/cm3 | ≤5E16 tai tarpeen mukaan | |
9 | Happipitoisuus a/cm3 | ≤1E18 tai tarpeen mukaan | |
10 | Metallilikaisuus a/cm3 | <5E10 (Cu, Cr, Fe, Ni) tai <3E10 (Al, Ca, Na, K, Zn) | |
11 | Pakkaus | Muovipussi sisällä, vanerikotelo tai pahvilaatikko ulkopuolella. |
Symboli | Si |
Atominumero | 14 |
Atomipaino | 28.09 |
Elementtiluokka | Metalloidi |
Ryhmä, jakso, lohko | 14, 3, s |
Kristallirakenne | Timantti |
Väri | Tumman harmaa |
Sulamispiste | 1414°C, 1687,15 K |
Kiehumispiste | 3265°C, 3538,15 K |
Tiheys 300K | 2,329 g/cm3 |
Sisäinen resistanssi | 3,2E5 Ω-cm |
CAS-numero | 7440-21-3 |
EY-numero | 231-130-8 |
Yksikristallinen piiharkko, kun se on täysin kasvanut ja hyväksytty, sen ominaisvastus, epäpuhtauspitoisuus, kristallin täydellisyys, koko ja paino maadoitetaan timanttipyörillä, jotta siitä tulee täydellinen sylinteri oikeaan halkaisijaan, minkä jälkeen sille suoritetaan etsausprosessi hiontaprosessin jättämien mekaanisten vikojen poistamiseksi. .Tämän jälkeen lieriömäinen harkko leikataan tietyn pituisiksi lohkoiksi, ja sille annetaan lovi ja primäärinen tai toissijainen litteä automaattinen kiekkojen käsittelyjärjestelmä kohdistamiseksi kristallografisen orientaation ja johtavuuden tunnistamiseksi ennen myöhempää kiekkojen viipalointiprosessia.
Hankintavinkkejä
Yksikristallinen piiharkko